鼎岳科技超純水系統--電抗濾波增效節能系統/變頻模組--磁能共振水垢處理器--汙泥及廢液乾燥濃縮--UPW電子級超純水系統--設備及自動化系統

水(銹)垢防制技術應用-實例說明

簡介》

* 濺鍍機銹垢污染的解決

此例為 ULVAC Sputter 經年的水(銹)垢污染如下：
1. 鑄鋼材質部分，銹蝕十分嚴重 (圖1)。
2. 流量計玻璃 (圖2) 因表面滿佈銹垢，而看不清楚實際刻度。
3. 對設備操作及產品品質產生危害。

備註》

*安裝後一個月的情形：

1. 濺渡機內部銹污染部分，明顯改善許多。

2. 流量計較改善不明顯，但是已經不再惡化。